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공조 방식

공조방식

난류 방식 Clean Room (Turbulent Flow, 비 단일방향 기류)

기본적으로 일반 공조의 취출구에 HEPA Filter를 취부한 방식으로 청정한 취출공기에 의해 실내오염원을 희석하여 청정도를 상승시키는 희석법이다.
청정도는 CLASS 1,000∼100,000 정도를 얻을 수 있다. 환기회수는 20∼80 회/hr 정도이고, HEPA Box 또는 BFU (Blower Filter Unit)를 사용하여 공조기로부터 Make Up된 공기를 취출하고 청정유지에
필요한 풍량을 순환시킨다. 이 방식의 Clean Room에서는 동일한 실내조건에서 청정도를 80회 이상 (예를들어 100 회/hr)으로 올린다 하더라도 청정도의 향상효과는 비례로 증가하지는 않는다.)

SMIF & FIMS System

SMIF(Standard Mechanical InterFace) & FIMS(Front-Opening Interface Mechanical Standard) 시스템은 전체 클린룸 설비 가운데 노광 및 에칭 등 초청정 환경이 요구되는 일부 공간만을 클래스1
이하의 초청정 상태로 유지함으로써 전체 클린룸 설비의 사용효율을 극대화하는 차세대 클린룸 설비로 각각의 핵심 반도체 장비에 부착되는 초소형 클린룸 장치(Mini Environment), 밀폐형 웨이퍼 용기
(Pod/FOUP), 밀폐형 웨이퍼 용기 개폐 장치(Indexer/Opener), 그리고 웨이퍼 이송용 로봇 시스템 등으로 구성된다.