팝업레이어 알림

팝업레이어 알림이 없습니다.
  1. 홈으로
  2. 사업분야
  3. CLEAN ROOM사업
  4. CLEAN ROOM
  5. 크린룸의 규격

크린룸의 규격

크린룸의 규격

본격적인 산업용클린룸 규격으로 1963년 미국연방규격 209B(Federal Standard 209B)가 제정 되었다.
규격은 청정도 이외, 압력, 기류속도, 온도, 습도, 조도에 의해 대해서도 규정하고 있다. FS209는 1988년의 209D, 1992년의 209E와 수회 변경되었다.
한편, 다른 나라에서는 FS209를 참고로 하여 독자의 규격을 사용하고 있다. 일본에서는 1㎥의 공기중에 포함되어있는 입자경이 0.1㎛이상의 입자수를
클라스 표시로 하고 있다. 그리고 1999년 청정도에 관한 국제규격인 ISO14644가 발표되어 세계적 규격의 통일에 한발 전진하게 되었다. (colony)수를 측정한다.

미국연방 규격

GSA (General Services Administration)의해 제정된 미국 연방규격은 209에서 시작해서 최신의 209E까지 개정되어 왔다. 1963년 12월 F.S 209가 발표 되었고, 1966년 8월에 209A, 1973년 4월에
209B, 1987년 10월에 209C, 1988년 6월에 209D, 1992년에 209E까지 발표되었다. 다음은 연방규격에서 규정하는 Class Limit의 정의이다.

CLASS 측정입경(㎛) 비교
0.1 0.2 0.3 0.5 5
1,000  NA NA NA 1,000 7 NA : Not
Application
10,000  NA NA NA 10,000 70
100,000  NA NA NA 100,000 700
Class Name ** Class limits
0.1m 0.2m 0.3m 0.5m 5m
Volume units Volume units Volume units Volume units Volume units
SI English*** (㎥) (ft3) (㎥) (ft3) (㎥) (ft3) (㎥) (ft3) (㎥) (ft3)
M4.5 1,000 - - - - - - 35,300 1,000 618 17.5
M5   - - - - - - 100,000 2,830 2,470 70
M5.5 10,000 - - - - - - 353,000 10,000 6,180 175
M6   - - - - - - 1,000,000 28,300 24,700 700
M6.5 100,000 - - - - - - 3,530,000 1,000,000 61,800 1,750
M7   - - - - - - 10,000,000 283,000    

Filter 포집 효율 측정법

구분 내용
중량법
(AFI)
ㆍAir filter insitute
ㆍDust weight Arrest EFF
ㆍ1㎛ 이상 입자제진에 적용/ Over 1㎛ particles
ㆍPre-Filter, 외기처리 Filter
비색법
(NBS)
ㆍNational Bureau of Standard
ㆍDust Spot Efficiency
ㆍ1㎛ 이하의 부유미립자 제진에 적용/Below 1㎛ particles
ㆍMedium Filter
계수법
(DOP)
ㆍDioctyl Phthalate
ㆍFractional Efficiency
ㆍ0.3 ㎛ 이하의 입자제진에 적용/Below 0.3㎛ particles
ㆍHEPA Filter, ULPA Filter

대기중 미립자 분포도

대기중 미립자 분포도 그래프 이미지

대기중 부유미립자 크기

대기중 부유미립자 크기 그래프 이미지

CR Industrial Clean Room 청정도 등급 표 이미지

※양압유지 청정환경 : Positive Pressure Clean Room / ※음압유지 청정환경 : Negative Pressure Clean Room